六氟化硫（SF6）是一种无色、不烧的气体，具有优异的绝缘性能和化学稳定性。它在大气中的分解温度高达400℃，且在高温下也不会发生氧化反应[1]。因此被广泛应用于高压电器设备和电力系统的灭弧与绝缘中2-33。
然而随着大量使用SF气体对环境造成的影响越来越受到关注,对其替代品的研发已成为当前亟待解决的问题之一5.7此外由于其在地质环境中具有较强的吸附能力使其一旦释放到大气中将产生长期的生态效应89，其对生物酶的活性有抑制作用是二嗯英的前驱物质,还对人体健康有害是名副其实的环境。
高纯氦气是由99.8%的惰性气体和0.2的高沸点杂质组成。这种气流经过特殊设备，用化学的方法除去其中的水、二氧化碳等对人体有害的气体后可得到高达7个九（即99．
９％）以上的超高清洁度标准的工业用的性质稳定的大分子团单原子气体；其主要用途是作为新一代超洁净显示技术和半导体工艺中的新型热沉基质材料和高精度光学透镜材料的成份充填物以及用于低速冷冻机及手术制冷等领域。
高纯甲烷是一种无色、无味、无毒的气体，它是由一个甲烷分子组成的，这个甲烷分子由一个碳原子和四个氢原子组成。它的相对分子质量为28.01，它的沸点为-164.14°C，它的密度为0.714克/立方厘米。高纯甲烷在常温常压下是一种稳定的气体，它不易溶于水、液氨或其他中，但它能与空气中的氧气反应，从而变成淡黄色。
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