高纯氦气是由99.8%的惰性气体和0.2的高沸点杂质组成。这种气流经过特殊设备，用化学的方法除去其中的水、二氧化碳等对人体有害的气体后可得到高达7个九（即99．
９％）以上的超高清洁度标准的工业用的性质稳定的大分子团单原子气体；其主要用途是作为新一代超洁净显示技术和半导体工艺中的新型热沉基质材料和高精度光学透镜材料的成份充填物以及用于低速冷冻机及手术制冷等领域。
六氟化硫（SF6）是一种无色、不烧的气体，化学稳定性非常好。它是在20世纪50年代由美国通用电气公司实验室的研究人员发现的。
在高压电器中，由于其良好的绝缘性能和密封性而得到广泛应用。此外，它在高温下可以分解出氧或氢气，因此常用于灭火器制造泡沫橡胶隔热材料等行业中。的是，它是迄今为止的卤素气体之一，因为它具有良好的电弧稳定性和优异的耐臭氧能力。这些特性使得其在现代电力工业中被广泛应用于断路器和变压器等领域作为灭弧介质与绝缘剂。
工业气体是指在工业化过程中产生的各种气态物质，包括氧气、氮气等基本元素以及二氧化碳、氢气等多种化合物。这些物质的用途非常广泛且多样化：例如在化工行业中作为原料或溶剂；行业中的呼吸和剂使用；钢铁冶炼过程中的氧化烧炉等等都离不开它们的支持作用。
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